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  • 产品名称：微米级精密离线检测装置

  • 产品型号：MICRO ACE 系列
  • 产品厂商：ayaha
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简单介绍：
分辨率1.0μ~超高分辨率检测 ●焦深宽，可对缺点进行全貌成像，无因聚焦而变化 ·丰富的光学系统(透射、反射、暗场等)和图像处理相结合，可以区分缺陷类型。 ●采用高精度载物台，可通过激光显微镜的3D测量分析缺陷(可选)还活跃在显示器、电子材料、电池等先进材料的研发现场
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